تجهیزات سیستم لایه نشانی بخار شیمیایی پلاسمای مستقیم برای رشد نانولوله های کربنی سیستم لایه نشانی بخار شیمیایی برای پروسه کردن سیلیکان نانو ساختار و ترانزیستور اثر میدان